一站式精密五金(jīn)件(jiàn)加工製造
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超精密零配件加工方法的(de)特點是(shì)對外表層物質去除(chú)或添加的量能夠作極細微的控製。但是要獲(huò)得cnc超精密零件加工精度,仍有(yǒu)賴於精密的加工設備和(hé)準確的克製係統,並采用超精密掩(yǎn)膜(mó)作中介物。例如超大規模集成電路的製版即使采用電子束對掩膜上(shàng)的光致抗蝕劑(見光刻)舉行曝射,使光致抗蝕(shí)劑的原(yuán)子在電子撞擊下直接聚合(或分解),再用顯影劑把聚合過的或未聚合過的部分溶解掉,製成掩膜。電子束曝射製版必要采用(yòng)工作台定位精度(dù)高達±0.01微米的超精密加工(gōng)設備。
超精密零配件加工,主(zhǔ)要有超精密(mì)車削、鏡(jìng)麵磨削(xuē)和研磨等。在(zài)超精密車(chē)床上(shàng)用通過(guò)精細研磨的單晶金剛石車刀舉行微量車削,切削厚度僅1微米左右,常用於加工有色金屬材料的球麵、非球麵和平麵的反射鏡等高精度、外表高度光潔的零件(jiàn)。例如加工核聚變(biàn)裝置用的直徑為800毫米的非球麵反(fǎn)射(shè)鏡,高精度可(kě)達0.1微米,外表粗糙度為Rz0.05微米。
超精密零配件加工精(jīng)度以納米,甚至後以原子單(dān)位(原子晶格距離為0.1~0.2納(nà)米)為目標時(shí),超精密零件切削加工方法已不能適應,必要借助特種(zhǒng)精密零配件加工的(de)方法,即應用化學能、電化學能、熱能或電能等,使這些能量超(chāo)越原子間的聯合能,從(cóng)而去除工件外表的(de)部分原子間的附著、聯合或晶(jīng)格變形,以達到超精密加工的目的(de)。屬於這類加工的有機械化學拋光、離子濺射和離子注入、電子束曝射、激光束加工、金屬蒸鍍和分子束外延等。